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薄膜吸氣劑是使用特殊的真空塗層技術在真空器件的封裝蓋板或真空器件內部表面上形成的一層吸氣劑薄膜。

 應用環境:
薄膜吸氣劑廣泛應用於在MEMS陀螺儀、粒子加速器、紅外感測器、諧振加速度計、諧振壓力感測器、射頻MEMS開關、微型原子鐘、半導體真空封裝器件或者其他需要長期維持真空度的真空器件。